वीपी सीरीज प्लाज्मा उपचार प्रणाली

फ़ंक्शन कॉन्फ़िगरेशन

तकनीकी मापदण्ड

नमूना

वीपी-60एल

वीपी-80एल

वीपी-100एल

वीपी-150एल

आयाम (मिमी)

L=1200; W=920; H=1690

वैक्यूम चैंबर

आयाम (मिमी)

L=403; W=400;H=403

L=450; W=400;H=450

L=470; W=460;H=470

L=500; W=600;H=500

वैक्यूम चैंबर

सामग्री

स्टेनलेस स्टील

इलेक्ट्रोड प्लेट

आयाम (मिमी)

319(L)×374(W)

320(L)×420(W)

380(L)×440(W)

520(L)×470(W)

इलेक्ट्रोड प्लेट

सामग्री

विशेष एल्यूमीनियम इलेक्ट्रोड

वजन(किग्रा)

560

580

630

680

नियंत्रण

पीएलसी+टच स्क्रीन

इलेक्ट्रोड प्लेट

संरचना

क्षैतिज 8 परतें

वैक्यूम पंप प्रणाली

दो-स्टेज रोटरी प्लेट वैक्यूम पंप/रूट्स वैक्यूम पंप

वैक्यूम

माप

प्रणाली

पिलानी प्रतिरोध वैक्यूम गेज

गैस मापना

प्रणाली

उच्च परिशुद्धता द्रव्यमान प्रवाहमापी

प्लाज्मा जनरेटर

उच्च परिशुद्धता 0-500W प्लाज्मा जनरेटर

उच्चा परिशुद्धि

0-1000W

प्लाज्मा जनरेटर

प्लाज्मा मिलान इकाई

उच्च परिशुद्धता 0-500W स्वचालित मिलान इकाई

उच्चा परिशुद्धि

0-1000W

स्वचालित मिलान

इकाई

कार्यशील निर्वात

10-100 पा

का दबाव सीमित करें

वैक्यूम पंप

5×10-1 पा

हासिल करने का समय

निर्वात समय

55 से कम या उसके बराबर

70 से कम या उसके बराबर

80 से कम या उसके बराबर

100 से कम या उसके बराबर

रिलीज करने का समय

निर्वात समय

15 से कम या बराबर

20 से कम या उसके बराबर

25 से कम या उसके बराबर

30 से कम या उसके बराबर

गैस नियंत्रण रेंज

(एससीसीएम)

द्रव्यमान प्रवाह 0-300 (वैकल्पिक)

जन प्रवाह

0-500 (वैकल्पिक)

आकाशवाणी आवृति

बिजली की आपूर्ति (डब्ल्यू)

0-500

(सीमा में समायोज्य)

0-1000 (सीमा में समायोज्य)

संचालन का तरीका

मैनुअल, एक कुंजी स्वचालित संचालन

बिजली की आपूर्ति

तीन चरण 380V

रेटेड पावर (किलोवाट)

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