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VP-10S स्वचालित वैक्यूम प्लाज्मा उपचार प्रणाली

VP-10S स्वचालित वैक्यूम प्लाज्मा उपचार प्रणाली

एकाधिक संस्करणों (पीएलसी/पीसी) और विभिन्न मुख्यधारा संचार प्रोटोकॉल का समर्थन करना;
SEMI सुरक्षा उत्पादन मानक के अनुसार डिज़ाइन और उत्पादन किया गया;
उच्च चैनल डिजाइन क्षमता, UPH400~550pcs;

उत्पाद की विशेषताएँ

 

एकाधिक संस्करणों (पीएलसी/पीसी) और विभिन्न मुख्यधारा संचार प्रोटोकॉल का समर्थन करना;
SEMI सुरक्षा उत्पादन मानक के अनुसार डिज़ाइन और उत्पादन किया गया;
उच्च चैनल डिजाइन क्षमता, UPH400~550pcs;
कई उत्पाद आयामों और पत्रिकाओं के लिए उपयुक्त;
एमएफसी वेफर स्तर का पेटेंट डिज़ाइन, गैस रिसाव को सुरक्षा दुर्घटनाओं का कारण बनने से रोकता है (हाइड्रोजन जैसी उच्च जोखिम वाली गैसों का समर्थन करता है);
उच्च सीलिंग कक्ष का पेटेंट डिज़ाइन, 5pa तक;
जल संपर्क कोण<10° (related to the material of product surface);
4 उत्पादों के एक साथ प्रसंस्करण के लिए चार चैनलों का डिज़ाइन, दोहरे बॉटम इलेक्ट्रोड के साथ, बोर्ड में प्रवेश और निकास के समय को कम करना, दक्षता में उल्लेखनीय सुधार करना और प्रसंस्करण में उत्पाद की एकरूपता सुनिश्चित करना।

 

तकनीकी निर्देश

 

कार्यात्मक विन्यास

तकनीकी मापदंड

एल×डब्ल्यू×एच(मिमी)

 

L1600×W1150×H1700

उपकरण
आयाम

नेट वजन / किग्रा)

1000

परिधीय निकासी (मिमी)

पीछे 600, दोनों तरफ 600

कक्ष

आयतन(एल)

लगभग 9

चैनल(सं.)

4

निचला इलेक्ट्रोड(पीसी)

2(संक्रमण फलन)

फीडिंग मोड

पत्रिका

अनुकूली उत्पाद आयाम (मिमी)

चौड़ाई:40-100 लंबाई:150-300

इलेक्ट्रोड

इलेक्ट्रोड आयाम (मिमी)

528×300

आरएफ बिजली की आपूर्ति

मानक शक्ति (किलोवाट)

1

आवृत्ति (एमएचजेड)

13.56

गैस नियंत्रण

तीन चैनल तक

2 चैनल (मानक), 3 चैनल (वैकल्पिक)

नियंत्रण प्रणाली

मानव-मशीन इंटरफ़ेस

पीसी+टच स्क्रीन

रिमोट इंटरफ़ेस

संचार

वैकल्पिक

वैक्यूम पंप

वैकल्पिक सूखा पंप

17सीएफएम

वैकल्पिक तेल पंप

195सीएफएम

पर्जिंग फ़ंक्शन के साथ वैकल्पिक ड्राई पंप

हाँ

नाइट्रोजन शुद्धिकरण प्रवाह दर (एसएलएम)

2

वैक्यूमिंग समय(एस)

10月15日

वैक्यूम तोड़ने का समय(एस)

3-4

फ़ैक्टरी सुविधाएँ

बिजली की आपूर्ति

तीन -चरण 380V50/60Hz 4.5kW(तेल पंप)
तीन -phase380V50/60Hz 4kW(सूखा पंप)

प्रक्रिया का आयाम एवं प्रकार
गैस पाइपलाइन

1/4इंच स्वगेलोक

प्रक्रिया गैस की शुद्धता

औद्योगिक ग्रेड और उससे ऊपर

प्रक्रिया गैस का दबाव (पीएसआईजी)

10-20

शुद्धिकरण गैस पाइपलाइन का आयाम और प्रकार

1/4इंच स्वगेलोक

गैस की शुद्धता को शुद्ध करना

औद्योगिक ग्रेड और उससे ऊपर

शुद्ध करने वाली गैस का दबाव (पीएसआईजी)

15

वायवीय का आयाम एवं प्रकार
वाल्व पाइपलाइन

फिटिंग में 10 मिमी पुश-

वायवीय गैस की शुद्धता

संपीडित हवा, तेल मुक्त, ओस बिंदु 7 डिग्री से कम या उसके बराबर, कण<5

वायवीय गैस का दबाव (पीएसआईजी)

70-90

संपीड़ित हवा (मिमी)

∅8

अनुपालन

प्रमाणन

अर्द्ध

सहायक उपकरण

नाइट्रोजन जनरेटर (वैकल्पिक)

नाइट्रोजन शुद्धिकरण के लिए वैकल्पिक

वाटर कूलर (वैकल्पिक)

इलेक्ट्रोड ठंडा करने के लिए वैकल्पिक

हाइड्रोजन किट (वैकल्पिक)

हाइड्रोजन उपचार के लिए वैकल्पिक

निकास गैस प्रोसेसर (वैकल्पिक)

फ्लोरीन निकास उपचार के लिए वैकल्पिक

परिवहन

कुल वजन (किग्रा)

1050

पैकेजों की संख्या

1

SPM15 मानक के अनुरूप पैकेजिंग

हाँ

 

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