उत्पाद की विशेषताएँ
एकाधिक संस्करणों (पीएलसी/पीसी) और विभिन्न मुख्यधारा संचार प्रोटोकॉल का समर्थन करना;
SEMI सुरक्षा उत्पादन मानक के अनुसार डिज़ाइन और उत्पादन किया गया;
उच्च चैनल डिजाइन क्षमता, UPH400~550pcs;
कई उत्पाद आयामों और पत्रिकाओं के लिए उपयुक्त;
एमएफसी वेफर स्तर का पेटेंट डिज़ाइन, गैस रिसाव को सुरक्षा दुर्घटनाओं का कारण बनने से रोकता है (हाइड्रोजन जैसी उच्च जोखिम वाली गैसों का समर्थन करता है);
उच्च सीलिंग कक्ष का पेटेंट डिज़ाइन, 5pa तक;
जल संपर्क कोण<10° (related to the material of product surface);
4 उत्पादों के एक साथ प्रसंस्करण के लिए चार चैनलों का डिज़ाइन, दोहरे बॉटम इलेक्ट्रोड के साथ, बोर्ड में प्रवेश और निकास के समय को कम करना, दक्षता में उल्लेखनीय सुधार करना और प्रसंस्करण में उत्पाद की एकरूपता सुनिश्चित करना।
तकनीकी निर्देश
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कार्यात्मक विन्यास |
तकनीकी मापदंड |
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एल×डब्ल्यू×एच(मिमी) |
L1600×W1150×H1700 |
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उपकरण |
नेट वजन / किग्रा) |
1000 |
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परिधीय निकासी (मिमी) |
पीछे 600, दोनों तरफ 600 |
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कक्ष |
आयतन(एल) |
लगभग 9 |
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चैनल(सं.) |
4 |
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निचला इलेक्ट्रोड(पीसी) |
2(संक्रमण फलन) |
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फीडिंग मोड |
पत्रिका |
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अनुकूली उत्पाद आयाम (मिमी) |
चौड़ाई:40-100 लंबाई:150-300 |
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इलेक्ट्रोड |
इलेक्ट्रोड आयाम (मिमी) |
528×300 |
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आरएफ बिजली की आपूर्ति |
मानक शक्ति (किलोवाट) |
1 |
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आवृत्ति (एमएचजेड) |
13.56 |
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गैस नियंत्रण |
तीन चैनल तक |
2 चैनल (मानक), 3 चैनल (वैकल्पिक) |
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नियंत्रण प्रणाली |
मानव-मशीन इंटरफ़ेस |
पीसी+टच स्क्रीन |
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रिमोट इंटरफ़ेस |
संचार |
वैकल्पिक |
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वैक्यूम पंप |
वैकल्पिक सूखा पंप |
17सीएफएम |
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वैकल्पिक तेल पंप |
195सीएफएम |
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पर्जिंग फ़ंक्शन के साथ वैकल्पिक ड्राई पंप |
हाँ |
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नाइट्रोजन शुद्धिकरण प्रवाह दर (एसएलएम) |
2 |
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वैक्यूमिंग समय(एस) |
10月15日 |
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वैक्यूम तोड़ने का समय(एस) |
3-4 |
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फ़ैक्टरी सुविधाएँ |
बिजली की आपूर्ति |
तीन -चरण 380V50/60Hz 4.5kW(तेल पंप) |
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प्रक्रिया का आयाम एवं प्रकार |
1/4इंच स्वगेलोक |
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प्रक्रिया गैस की शुद्धता |
औद्योगिक ग्रेड और उससे ऊपर |
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प्रक्रिया गैस का दबाव (पीएसआईजी) |
10-20 |
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शुद्धिकरण गैस पाइपलाइन का आयाम और प्रकार |
1/4इंच स्वगेलोक |
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गैस की शुद्धता को शुद्ध करना |
औद्योगिक ग्रेड और उससे ऊपर |
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शुद्ध करने वाली गैस का दबाव (पीएसआईजी) |
15 |
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वायवीय का आयाम एवं प्रकार |
फिटिंग में 10 मिमी पुश- |
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वायवीय गैस की शुद्धता |
संपीडित हवा, तेल मुक्त, ओस बिंदु 7 डिग्री से कम या उसके बराबर, कण<5 |
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वायवीय गैस का दबाव (पीएसआईजी) |
70-90 |
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संपीड़ित हवा (मिमी) |
∅8 |
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अनुपालन |
प्रमाणन |
अर्द्ध |
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सहायक उपकरण |
नाइट्रोजन जनरेटर (वैकल्पिक) |
नाइट्रोजन शुद्धिकरण के लिए वैकल्पिक |
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वाटर कूलर (वैकल्पिक) |
इलेक्ट्रोड ठंडा करने के लिए वैकल्पिक |
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हाइड्रोजन किट (वैकल्पिक) |
हाइड्रोजन उपचार के लिए वैकल्पिक |
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निकास गैस प्रोसेसर (वैकल्पिक) |
फ्लोरीन निकास उपचार के लिए वैकल्पिक |
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परिवहन |
कुल वजन (किग्रा) |
1050 |
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पैकेजों की संख्या |
1 |
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SPM15 मानक के अनुरूप पैकेजिंग |
हाँ |
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लोकप्रिय टैग: VP-10S स्वचालित वैक्यूम प्लाज्मा उपचार प्रणाली,VP-10S स्वचालित वैक्यूम प्लाज्मा उपचार प्रणाली


